質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）是一種通過(guò)測(cè)量和控制氣體質(zhì)量流量來(lái)實(shí)現(xiàn)精密控制的設(shè)備。其核心功能是確保氣體在工業(yè)過(guò)程、科研實(shí)驗(yàn)或環(huán)境監(jiān)測(cè)中以預(yù)設(shè)的流量穩(wěn)定傳輸。根據(jù)原理不同，MFC主要分為熱式、差壓式和層流壓差式等類型。其中，層流壓差式MFC因高精度、寬量程和快速響應(yīng)等優(yōu)勢(shì)，在半導(dǎo)體制造、生物制藥等領(lǐng)域占據(jù)重要地位。
層流壓差式原理
層流壓差式MFC基于流體力學(xué)中的哈根-泊肅葉定律，通過(guò)測(cè)量層流狀態(tài)下的壓差信號(hào)計(jì)算流量，并結(jié)合溫度、壓力補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制。
層流生成：流體通過(guò)層流元件（如蜂窩狀微通道）時(shí)，湍流被整流為層流狀態(tài)，確保流速與壓差呈線性關(guān)系。
壓差測(cè)量：壓差傳感器實(shí)時(shí)檢測(cè)層流元件兩端的壓力差，結(jié)合流體黏度參數(shù)，通過(guò)泊肅葉方程計(jì)算體積流量。
參數(shù)補(bǔ)償：內(nèi)置溫度、壓力傳感器對(duì)氣體密度進(jìn)行動(dòng)態(tài)修正，將工況流量轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量。
易度智能層流壓差式MFC的技術(shù)創(chuàng)新
多參數(shù)集成：同時(shí)監(jiān)測(cè)溫度、壓力工況流量、標(biāo)況流量、累計(jì)流量等，通過(guò)觸摸屏實(shí)時(shí)顯示控制數(shù)據(jù)，支持各種通訊方式遠(yuǎn)程控制。
寬量程覆蓋：量程范圍從0.1 sccm至20000 slpm，適應(yīng)微小流量到高流速場(chǎng)景。
多氣體兼容：內(nèi)置70余種氣體數(shù)據(jù)庫(kù)，無(wú)需轉(zhuǎn)換系數(shù)即可適配多種氣體。
其他原理簡(jiǎn)述
熱式原理：通過(guò)加熱元件感知流體帶走的熱量差異計(jì)算流量，但需預(yù)熱（5-30分鐘）且依賴氣體熱特性參數(shù)，成本較高。
傳統(tǒng)差壓式：基于節(jié)流元件（如文丘里管）產(chǎn)生壓差，但受湍流影響大，精度較低。
易度智能層流壓差式MFC的核心優(yōu)勢(shì)
作為國(guó)內(nèi)shou家通過(guò)層流壓差式CPA認(rèn)證的企業(yè)，易度智能的MFC在以下方面表現(xiàn)突出
高精度與穩(wěn)定性
測(cè)量誤差低至±0.5%讀數(shù)，重復(fù)性±0.1%，滿足半導(dǎo)體工藝對(duì)納米級(jí)流量波動(dòng)的嚴(yán)苛要求
環(huán)境適應(yīng)性
支持-50℃至110℃介質(zhì)溫度及0-3 MPa壓力范圍，適應(yīng)高溫爐、真空鍍膜等工況。
易度智能層流壓差式MFC已廣泛應(yīng)用于：
半導(dǎo)體制造：精確控制CVD（化學(xué)氣相沉積）中的反應(yīng)氣體流量，確保薄膜均勻性。
生物制藥：調(diào)節(jié)發(fā)酵工藝中的氧氣與培養(yǎng)基流量，提升產(chǎn)物純度。
環(huán)保監(jiān)測(cè)：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)工業(yè)廢氣排放，助力碳中和目標(biāo)實(shí)現(xiàn)。
層流壓差式質(zhì)量流量控制器憑借其物理原理的普適性與技術(shù)升級(jí)的靈活性，成為高精度流量控制的核心設(shè)備。易度智能通過(guò)自主研發(fā)，打破了國(guó)外技術(shù)壟斷，為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造提供了可靠的國(guó)產(chǎn)化解決方案。
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