淺述sem電子掃描電鏡樣品制備的要求
閱讀:2804 發(fā)布時(shí)間:2022-5-25
sem電子掃描電鏡的工作原理是用一束極細(xì)的電子束掃描樣品,在樣品表面激發(fā)出次級(jí)電子,次級(jí)電子的多少與電子束入射角有關(guān),也就是說(shuō)與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān),次級(jí)電子由探測(cè)體收集,并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào),再經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)來(lái)控制熒光屏上電子束的強(qiáng)度,顯示出與電子束同步的掃描圖像。
今天咱們來(lái)了解下sem電子掃描電鏡樣品制備的要求:
1、塊狀樣品的制備
對(duì)于塊狀導(dǎo)電樣品,基本上不需要進(jìn)行什么制備,只要其大小適合電鏡樣品底座尺寸大小,即可直接用導(dǎo)電膠帶把樣品黏結(jié)在樣品底座上,放到掃描電鏡中觀察,為防止假象的存在,在放試樣前應(yīng)先將試樣用丙酮或酒精等進(jìn)行清洗,必要時(shí)用超聲波清洗器進(jìn)行清洗。對(duì)于塊狀的非導(dǎo)電樣品或?qū)щ娦暂^差的樣品,要先進(jìn)行鍍膜處理,否則,樣品的表面會(huì)在高強(qiáng)度電子束作用下產(chǎn)生電荷堆積,影響入射電子束斑和樣品發(fā)射的二次電子運(yùn)動(dòng)軌跡,使圖像質(zhì)量下降,因此這類(lèi)樣品要在觀察前進(jìn)行噴鍍導(dǎo)電層的處理,在材料表面形成一層導(dǎo)電膜,避免樣品表面的電荷積累,提高圖象質(zhì)量,并可防止樣品的熱損傷。
2、粉末樣品的制備
對(duì)于導(dǎo)電的粉末樣品,應(yīng)先將導(dǎo)電膠帶黏結(jié)在樣品座上,再均勻地把粉末樣撒在上面,用洗耳球吹去未黏住的粉末,即可用電鏡觀察。對(duì)不導(dǎo)電或?qū)щ娦阅懿畹?,要再鍍上一層?dǎo)電膜,方可用電鏡觀察。為了加快測(cè)試速度,一個(gè)樣品座上可以同時(shí)制備多個(gè)樣品,但在用洗耳球吹未黏住的粉末時(shí),應(yīng)注意不要樣品之間相互污染。
對(duì)于粉末樣品的制備應(yīng)注意以下幾點(diǎn):
?。?)盡可能不要擠壓樣品,以保持其自然形貌狀態(tài)。
?。?)特細(xì)且量少的樣品,可以放于乙醇或者合適的溶劑中用超聲波分散一下,再用毛細(xì)管滴加到樣品臺(tái)上的導(dǎo)電膠帶上(也可用牙簽點(diǎn)一滴到樣品臺(tái)上),晾干或強(qiáng)光下烘干即開(kāi)。
?。?)粉末樣品的厚度要均勻,表面要平整,且量不要太多,1g左右即可,否則容易導(dǎo)致粉末在觀察時(shí)剝離表面,或者容易造成噴金的樣品的底層部分導(dǎo)電性能不佳,致使觀察效果的對(duì)比度差。