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微量氧檢測(cè)儀在工業(yè)生產(chǎn)、實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，但其使用過(guò)程中常遇到一些問(wèn)題。

一、常見(jiàn)問(wèn)題及解決方案

1. 傳感器壽命短

• 原因：

• 暴露于高濃度氧或腐蝕性氣體；高溫、高濕環(huán)境；頻繁校準(zhǔn)不當(dāng)。

• 解決：

• 避免傳感器接觸>1000ppm的氧濃度；在干燥、常溫環(huán)境下使用；定期校準(zhǔn)（建議每3-6個(gè)月一次）。

2. 讀數(shù)不穩(wěn)定或漂移

• 原因：

• 氣路污染（油脂、水分、顆粒物）；傳感器老化；電磁干擾。

• 解決：

• 清潔氣路；更換傳感器；遠(yuǎn)離變頻器、電機(jī)等干擾源。

1. 響應(yīng)速度慢

• 原因：

• 氣路堵塞或泄漏；傳感器性能下降。

• 解決：

• 檢查氣密性，確保流量穩(wěn)定、更換傳感器。




• 二、方案

• 傳感器維護(hù)

• 電化學(xué)傳感器：定期檢查電解液是否干涸，儲(chǔ)存時(shí)密封避光；

• 氧化鋯傳感器：避免硫化物、鹵素氣體污染，高溫環(huán)境下需定期活化。

• 環(huán)境控制

• 檢測(cè)環(huán)境濕度需<60%RH（可加裝干燥管）；

• 采樣氣體需過(guò)濾顆粒物（0.1μm過(guò)濾器）。

  
  

• 三、量程選擇建議

• 常規(guī)量程參考

  應(yīng)用場(chǎng)景	推薦量程	傳感器類型
  高純氣體（如氮?dú)?、氬氣?/td>	0-10ppm	電化學(xué)/激光光譜
  半導(dǎo)體工藝腔體	0-100ppb	氧化鋯/光學(xué)傳感器
  工業(yè)過(guò)程控制（如焊接）	0-1000ppm	電化學(xué)
  環(huán)境空氣監(jiān)測(cè)	0-25% vol	順磁/電化學(xué)

• 精度需求：低濃度（ppb級(jí)）優(yōu)選激光或氧化鋯傳感器；

• 響應(yīng)速度：電化學(xué)傳感器響應(yīng)較慢（秒級(jí)），光學(xué)傳感器更快（毫秒級(jí)）；

  
  

• 四、其他注意事項(xiàng)

• 交叉干擾：如電化學(xué)傳感器可能受H?、CO?影響，需選擇抗干擾型號(hào)；

• 防爆要求：石化等場(chǎng)景需選防爆型（ATEX認(rèn)證）；

• 通過(guò)合理選型、規(guī)范維護(hù)和定期校準(zhǔn)，可顯著提高微量氧檢測(cè)儀的可靠性和使用壽命。