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金屬密封熱式流量控制器
基于多年的經(jīng)驗(yàn)，我們未來(lái)將會(huì)成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業(yè)中的工作人員提供幫助。我們?cè)趯W(xué)校和研究機(jī)構(gòu)中從事真空相關(guān)研究已有多年經(jīng)驗(yàn)。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
金屬密封熱式流量控制器特點(diǎn)：
●長(zhǎng)明零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的0.2%
●能夠根據(jù)命令變化在 3秒內(nèi)完成設(shè)置并且過(guò)沖/下沖可忽略不計(jì)
●流量范圍究 -3 sccm至高達(dá)30,000 slpm
●高壓額定值-高達(dá)1,500 psi
●可選增強(qiáng)型內(nèi)部后處理工藝-5u 英寸Ra (平均值)
●可拆卸式流量傳感器
●不受安裝角度影響
●其他質(zhì)量流量控制器在機(jī)城和電設(shè)計(jì)方面兼容
●TTL兼容型閥關(guān)團(tuán)和吹掃功能
金屬密封熱式流量控制器優(yōu)勢(shì)：
●全金屬流路可確保件純度并降低范流風(fēng)險(xiǎn)；
●在廣泛的工藝和應(yīng)用范圍內(nèi)擁有經(jīng)認(rèn)可的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；
●由于性能可靠， 因此投資回報(bào)率出眾；
●采用可拆卸式流量傳感器，因此無(wú)霧對(duì)氣壓進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)和重新調(diào)節(jié)；
●由于慢擬量?jī)H為輸入輸出，因此易于安裝和保養(yǎng)。
應(yīng)用：
●光端機(jī)
●LED/MOCVD
●半與體
太陽(yáng)能