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| 外形尺寸 | 420(L)×330(D)×335(H) mm | 操作界面 | 彩色触摸屏、全数字显示 |
| 蒸发源 | 高纯碳纤维（φ0.8mm） | 蒸发源数量 | 4根 |
| 蒸发模式 | 连续蒸发、脉冲蒸发 | 工作模式 | 全自动、手动 |
| 预热除气 | 有 | 除气挡板 | 自动 |
| 真空泵 | 旋片式真空泵 | 真空泵抽速 | 1.1L/s |
| 真空室 | 高硅硼玻璃 ~φ170×130mm | 极限真空 | ≤1Pa |
| 样品台 | ≥φ90mm | 工作真空 | ≤2Pa |
| 供电 | AC220V/50Hz | 额定功率 | 800W |
| 蒸发源状态 | 系统上电后自动检测4根蒸发源通断情况，并在主界面显示 | ||
| 保护功能 | 真空?；?、过流保护、过压?；さ?/td> | ||
| 其它 | 真空、电流、电压可实时曲线 显示 | ||
| 选配 | 分子泵（高真空模式）、样品台旋转、膜厚监测、温度检测等 | ||
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