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全自動離子濺射儀操作過程中需要注意什么?

閱讀:196      發(fā)布時間:2025-5-16
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 全自動離子濺射儀是一種用于制備薄膜材料的高精度設(shè)備,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、電子工程和表面工程等領(lǐng)域。為確保設(shè)備正常運行、實驗結(jié)果準(zhǔn)確,并保障操作人員安全,使用過程中需注意以下事項:
真空系統(tǒng)操作:
在抽真空-前,確保所有閥門處于關(guān)閉狀態(tài)。
抽真空過程中,密切觀察真空度的變化,確保真空度達(dá)到實驗要求。
避免讓機械真空泵長期保持極限真空狀態(tài),以防反油。
電源和氣路操作:
確保電源線連接正確且無損傷,接地良好。
調(diào)節(jié)氣體壓力至實驗所需值,并保持穩(wěn)定。
禁止隨意拆卸、改裝設(shè)備的電氣部分或氣路系統(tǒng)。
濺射參數(shù)設(shè)置:
根據(jù)實驗要求,合理設(shè)置濺射電流、濺射時間、加速電壓等參數(shù)。
避免單次濺射時間過長,一般不超過120秒。如需濺射厚膜,可多次濺射。
注意工作距離和離子流大小的關(guān)系,避免熱損傷樣品。
樣品放置和取出:
放置樣品時,確保樣品在樣品臺上固定牢固,防止濺射過程中移動。
取出樣品時,待真空室放氣至大氣壓后再打開真空室蓋子。
安全操作:
嚴(yán)禁將手或其他物品放入設(shè)備內(nèi)部,以免發(fā)生意外傷害。
操作過程中避免操作手套被夾損或卷入設(shè)備內(nèi)部。
禁止在設(shè)備周圍擺放易燃、易爆物品。
操作后維護(hù)
設(shè)備清潔:
實驗結(jié)束后,及時清理真空室、濺射頭等部件,保持設(shè)備清潔。
定期用沾有少量丙酮的抹布擦拭真空室內(nèi)部,注意不要打破玻璃真空圈。
設(shè)備保養(yǎng):
定期對設(shè)備進(jìn)行維護(hù)檢查,包括清潔、潤滑、更換磨損部件等。
真空泵油應(yīng)定期更換,一般更換周期為12個月。
油霧過濾器等易損件也應(yīng)定期更換。
記錄和數(shù)據(jù)保存:
記錄實驗過程中的各項參數(shù)和操作情況,以便后續(xù)分析和總結(jié)。
保存實驗數(shù)據(jù),以便后續(xù)參考和對比。

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