全自動離子濺射儀是一種用于制備薄膜材料的高精度設(shè)備，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、電子工程和表面工程等領(lǐng)域。為確保設(shè)備正常運行、實驗結(jié)果準(zhǔn)確，并保障操作人員安全，使用過程中需注意以下事項：
真空系統(tǒng)操作：
在抽真空-前，確保所有閥門處于關(guān)閉狀態(tài)。
抽真空過程中，密切觀察真空度的變化，確保真空度達(dá)到實驗要求。
避免讓機械真空泵長期保持極限真空狀態(tài)，以防反油。
電源和氣路操作：
確保電源線連接正確且無損傷，接地良好。
調(diào)節(jié)氣體壓力至實驗所需值，并保持穩(wěn)定。
禁止隨意拆卸、改裝設(shè)備的電氣部分或氣路系統(tǒng)。
濺射參數(shù)設(shè)置：
根據(jù)實驗要求，合理設(shè)置濺射電流、濺射時間、加速電壓等參數(shù)。
避免單次濺射時間過長，一般不超過120秒。如需濺射厚膜，可多次濺射。
注意工作距離和離子流大小的關(guān)系，避免熱損傷樣品。
樣品放置和取出：
放置樣品時，確保樣品在樣品臺上固定牢固，防止濺射過程中移動。
取出樣品時，待真空室放氣至大氣壓后再打開真空室蓋子。
安全操作：
嚴(yán)禁將手或其他物品放入設(shè)備內(nèi)部，以免發(fā)生意外傷害。
操作過程中避免操作手套被夾損或卷入設(shè)備內(nèi)部。
禁止在設(shè)備周圍擺放易燃、易爆物品。
操作后維護(hù)
設(shè)備清潔：
實驗結(jié)束后，及時清理真空室、濺射頭等部件，保持設(shè)備清潔。
定期用沾有少量丙酮的抹布擦拭真空室內(nèi)部，注意不要打破玻璃真空圈。
設(shè)備保養(yǎng)：
定期對設(shè)備進(jìn)行維護(hù)檢查，包括清潔、潤滑、更換磨損部件等。
真空泵油應(yīng)定期更換，一般更換周期為12個月。
油霧過濾器等易損件也應(yīng)定期更換。
記錄和數(shù)據(jù)保存：
記錄實驗過程中的各項參數(shù)和操作情況，以便后續(xù)分析和總結(jié)。
保存實驗數(shù)據(jù)，以便后續(xù)參考和對比。
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