全钢超净工作台水平送风净化台洁净工作台校准项目及技术要求
3　校准条件
3. 1　环境条件 温度( 20±5)℃,相对湿度<75%RH。
3. 2　校准仪器 ( 1)过滤器检漏仪: 泄漏量程( 0. 0001%～ 100%) ,重 复性 0. 05%; ( 2)尘埃粒子计数器: 测量范围( 0. 3～ 10) μ m,允许误 差±30%,流量 28. 3L/min ; ( 3)热球风速仪: 测量范围( 0. 05～ 30) m/s,允许误差 ±3%; ( 4)声级计: 测量范围( 30～ 100) dB ,允许误差±1dB; ( 5)振动仪: 频率( 2～ 500) Hz; 位移 0. 1μ m～ 1. 5mm; 加速度( 0. 01～ 10) g; ( 6) 照度计: 测量范围( 0～ ±2000) Ix ,允许误差±4%
4　校准方法
4. 1　检漏 向空气过滤器上游测发 DOP 气溶胶 ,用 采样器在过滤器下游例约 2. 5cm 处检漏仪进行巡检 扫描,巡检速度≤5cm/s,当下游测浓度与上游侧浓度的 比大于 0. 01%时,则认为有明显泄漏,应进行堵漏。
4. 2　洁净度 采样时采用 28. 3L/min 的尘埃粒子计数器,也可采 用小流量尘埃粒子计数器,但采样量得小于 1L。当吸风 口处的气溶胶浓度达到稳定条件下,在距主过滤器或整 流格栅出口 250mm 的平行断面的中心处连续测试 5 次, 求其平均值。
4. 3　风速 在主过滤器或扩散板下游 10cm 处的平面,把该平面 面积分成不得少于 12 等分面积,各面积中心点为风速测 点,各测点之间距离不应大于 25cm,用热球风速仪或热 敏电阻风速仪来测量各点风速,取平均值为截面风速。 风速均匀性按下式计算: Y =Vmax(min)-V V ×100% 式中: Y —风速均匀性, %; V—截面风速较大值或较 小值,m/s; V—截面平均风速,m/s。
4. 4　噪声 测试噪声的环境在室内比较开阔的、较硬实反射地 面上进行测量。设备操作区开口处,若设有档板应全部 开启,特利注意避免气流产生的风压、振动等带来的影 响。噪声测量点应布置在工作台中心,距台面前沿 20cm 处,高度为 110cm,共测四次,取平均值为测量结果。
4. 5　振动 洁净工作台应放置在振动比较小的地面上,避免周 围环境环的影响,工作台在正常运行条件下,将振动分析 计的拾振器放置于操作面的几何中心,测出 X、Y、Z 三个 轴向的总振幅值。

全钢超净工作台水平送风净化台技术参数