EddyCus TF lab 2020SR – 非接触式单点薄层电阻测试仪

EddyCus TF lab 2020SR 是一种非接触式单点薄层电阻测量系统。该设备包含一个涡流传感器组，可将微弱电流感应到导电薄膜和材料中。样本中的感应电流会产生与测量对象的薄层电阻相关的电磁场。该技术独立于表面特征或形态。此外，它不需要任何类型的充分样品接触或准备，例如从 2 点或 4 点探针测试（2PP、4PP）或霍尔效应或范德堡测量中得知。它既不需要设置测试结构，也不受表面粗糙度或非导电封装或钝化层的影响。此外，测量不会对测试的薄膜产生物理影响。由于存在机械磨损，涡流仪器具有较长的使用寿命。它独立于接触质量和高速，可实现高重复性和准确性，有利于研发和测试实验室中各种薄膜的系统质量保证。 EddyCus 工具可以由具有各种数据记录和导出功能的 SURAGUS 软件驱动，也可以由 SURAGUS 软件开发套件驱动的客户软件驱动。

软件和设备控制

1、非常人性化的软件

2、直观的触摸显示屏导航

3、实时测量薄层电阻和层厚

4、软件辅助手动映射选项

5、各种数据保存和导出选项

EddyCus TF lab 2020SR的数据表

测量技术：非接触式涡流传感器

基质：箔、玻璃、晶片等。

基底面积：8英寸/ 204毫米x 204毫米(三面开口)

最大值样品厚度/传感器间隙：3 / 5 / 10 / 25毫米(由最厚的样品确定)

金属薄膜(如铜)的厚度测量范围：2纳米–2毫米(根据薄层电阻)

设备尺寸(宽高比)：11.4英寸x 5.5英寸x 17.5英寸/ 290毫米x 140毫米x 445毫米

重量：10公斤

更多可用功能：薄层电阻测量/金属厚度监控器

VLSR - 极低薄层电阻 , LSR - 低薄层电阻 , MSR - 中等薄层电阻 , HSR - 高薄层电阻 , VHSR - 非常高薄层电阻