高低溫真空探針臺(tái)進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測(cè)試（4.2k-500k），可升級(jí)加載磁場(chǎng)，低溫防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品臺(tái)采用高純度無氧銅制作。溫度均勻性好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標(biāo)定過的硅二管做為測(cè)溫裝置，支持光纖光譜特性測(cè)試，兼容高倍金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)，器件的高頻特性，探針熱沉設(shè)計(jì)，LD/ED/PD的光強(qiáng)/波長測(cè)試自動(dòng)流量控制，材料/器件的IV/CV特性測(cè)試等。應(yīng)用于高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試，材料測(cè)試，霍爾測(cè)試，電磁輸運(yùn)特性等。

可選附件：

t 防震桌

t 多級(jí)壓縮制冷機(jī)

t 機(jī)械泵/分子泵組/離子泵

t 射頻部件

t 各類型頻率真空接頭

t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線等…

t 各類探針夾具

t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置

t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)

t 1Mpa正壓系統(tǒng)

t 超高溫升級(jí)選件

t 超高真空升級(jí)選件