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　　真空气氛炉是一种用于高温处理材料的热处理设备。是利用真空环境或惰性气体氛围将样品置于高温下进行热处理或烧结。通常由以下部分组成：炉膛、加热元件、保温材料、真空泵组、气体控制系统和温度控制系统。

　　真空气氛炉的工作原理是在炉腔这定空间内利用真空系统(由真空泵、真空阀门、真空测量仪表、冷阱、管道等部件经过精心组装而成)将炉腔内部分物质排出，使炉腔内压强小于个标准大气压，炉腔内空间从而实现真空状态，在真空状态下通过电热元件加热的工业炉，真空环境中进行加热的设备。

　　与常规热处理设备不同，真空气氛炉可以通过在炉内控制气氛和压力来控制热处理过程中的反应气氛，从而获得更加精确和高质量的热处理效果。该产品在材料科学、新材料研发、半导体行业、金属制品行业、陶瓷行业、玻璃行业、粉末冶金等领域有广泛的应用。例如，真空气氛炉可以用于半导体硅片的退火和扩散处理，也可以用于钢铁、铝合金等金属制品的热处理、气氛调节和表面改性。