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美国可脉（QMAXIS）推荐之多晶硅制备方案
阅读：584 发布时间：2023-2-22
想要观察多晶硅样品金相制备后的微观形貌，首先我们选择低聚集金刚石颗粒的20LC金刚石切割片，将样品用精密金相切割机切割成小块，并镶嵌成圆形标准试样后，再进行制备。镶嵌推荐使用美国可脉（QMAXIS）9个小时固化的EpoFlow环氧树脂，可以获得较佳的保边效果，即固化后树脂与样品之间的结合性也较佳。
多晶硅样品的显微磨削制备我们推荐采用美国可脉（QMAXIS）研发的四步法，用户可根据实际情况自行减少或增加步骤，以达到同样的效果。此外，美国可脉（QMAXIS）还有另外一种使用金刚石磨盘制备的方案，即采用P320或P400金相砂纸，然后用9µm、3µm、0.5µm金刚石磨盘进行研磨，结尾用0.02µm氧化硅抛光液再进行抛光。我们通过使用美国可脉（QMAXIS）的设备和耗材，采用相应的参数为用户提供更加有效的制备方法。具体的制备步骤、耗材选择以及制备参数等如下表所示。
多晶硅样品制备方案（一）
· 即将完成后的20 秒用水冲洗样品及金相抛光布即可
多晶硅样品制备方案（二）
· 即将完成后的20 秒用水冲洗样品及金相抛光布即可
多晶硅类似于玻璃，硬而脆，金刚石抛光液标乐安全技术小编建议可以选择使用多晶。多晶的磨削速度快，对于硬一点的材料来说，效率会更高一些。顺便说一下，单晶硅比多晶硅制备容易一些，制备单晶硅，力值可以稍微低一些。
所以，您在制备多晶硅样品时会采取哪些步骤及参数呢？欢迎与标乐安全技术工程师分享、讨论。