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美國可脈（QMAXIS）推薦之多晶硅制備方案
想要觀察多晶硅樣品金相制備后的微觀形貌，首先我們選擇低聚集金剛石顆粒的20LC金剛石切割片，將樣品用精密金相切割機(jī)切割成小塊，并鑲嵌成圓形標(biāo)準(zhǔn)試樣后，再進(jìn)行制備。鑲嵌推薦使用美國可脈（QMAXIS）9個(gè)小時(shí)固化的EpoFlow環(huán)氧樹脂，可以獲得較佳的保邊效果，即固化后樹脂與樣品之間的結(jié)合性也較佳。
多晶硅樣品的顯微磨削制備我們推薦采用美國可脈（QMAXIS）研發(fā)的四步法，用戶可根據(jù)實(shí)際情況自行減少或增加步驟，以達(dá)到同樣的效果。此外，美國可脈（QMAXIS）還有另外一種使用金剛石磨盤制備的方案，即采用P320或P400金相砂紙，然后用9µm、3µm、0.5µm金剛石磨盤進(jìn)行研磨，結(jié)尾用0.02µm氧化硅拋光液再進(jìn)行拋光。我們通過使用美國可脈（QMAXIS）的設(shè)備和耗材，采用相應(yīng)的參數(shù)為用戶提供更加有效的制備方法。具體的制備步驟、耗材選擇以及制備參數(shù)等如下表所示。
多晶硅樣品制備方案（一）
· 即將完成后的20 秒用水沖洗樣品及金相拋光布即可
多晶硅樣品制備方案（二）
· 即將完成后的20 秒用水沖洗樣品及金相拋光布即可
多晶硅類似于玻璃，硬而脆，金剛石拋光液標(biāo)樂安全技術(shù)小編建議可以選擇使用多晶。多晶的磨削速度快，對于硬一點(diǎn)的材料來說，效率會更高一些。順便說一下，單晶硅比多晶硅制備容易一些，制備單晶硅，力值可以稍微低一些。
所以，您在制備多晶硅樣品時(shí)會采取哪些步驟及參數(shù)呢？歡迎與標(biāo)樂安全技術(shù)工程師分享、討論。