目錄:江蘇布魯克電子有限公司>> NanoFocus μscan 三維激光掃描輪廓儀
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 100萬-200萬 | 應用領域 | 綜合 |
NanoFocus μscan 三維激光掃描輪廓儀
μscan系列機臺采用模塊化設計，特點是快速測量、不接觸、不破壞、自動化。主要應用于材料表面的三維輪廓測量，粗糙度測量，寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數據分析。能直接測量較大面積的樣品，而不用通過拼接。
μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器(Z方向測量)連用，如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是連接CF4激光共聚焦傳感器。
CF4激光共聚焦傳感器內，被照亮的小孔成像在被測量的表面，激光光束經由物鏡迅速上下移動聚焦于待測物上，只有當焦平面和真實表面的點配對的時候，探測器才記錄到一個表面信號。因此物鏡得通過小的垂直步位移動，使信號通過位移傳感器的位置移動被測出。根據特殊的內插技術，該系統(tǒng)的精度能達到10nm以下。
NanoFocus μscan 三維激光掃描輪廓儀
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