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產(chǎn)品簡介
FS1015CL系列微機電氣體質(zhì)量流量傳感器是為各類醫(yī)學(xué)用氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。產(chǎn)品采用微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計。
詳細介紹
FS1015CL系列產(chǎn)品特點：
專為和麻醉機的流量計量需求而設(shè)計
高靈敏度，應(yīng)用熱式質(zhì)量流量計原理可測量低至8mm/sec的流體流量
無旁通結(jié)構(gòu)，低壓損
傳感器的零點穩(wěn)定度高
經(jīng)消毒液殺菌處理后可重復(fù)使用
自動轉(zhuǎn)換量程的開關(guān)設(shè)計提高了測量精度
主機設(shè)備上的用戶界面可輕松實現(xiàn)線性輸出
FS1015CL系列機械圖：
FS1015CL系列技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品 | FS1015CL | 單位 |
流量范圍 | 0~100 / 0~150 | SLPM |
量程比 | 100：1 |
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精度 | ±(1.5+0.2FS) | % |
重復(fù)性 | 0.25 | % |
零點輸出飄移 | ±30 | mV |
輸出飄移 | ±0.12 | %/ ℃ |
響應(yīng)時間 | 8 | ms |
工作電壓 | 5±1% | Vdc |
輸出方式 | 線性，模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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流量壓損 | 1300 | Pa |
工作壓力 | 0.2 | MPa |
工作溫度 | -10~+55 | ℃ |
儲存溫度 | -20~+65 | ℃ |
工作濕度 | <95%RH(無結(jié)冰、無凝露) |
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電氣接口 | 5針，AMP 103956-4 |
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機械接口 | ISO-15mm |
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校準(zhǔn)方式 | 空氣，20℃，101.325kPa |
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重量 | 21.5 | g |