西班牙Sensofar 3D表面光學(xué)輪廓儀 S lynx 2：高精度表面測量的利器

Sensofar 3D 表面光學(xué)輪廓儀 S lynx 2 是西班牙 Sensofar 公司推出的一款高性能儀器，主要用于粗糙度、體積和臨界尺寸測量，為材料用戶提供準(zhǔn)確、可靠、全面的毫米級到納米級樣品制備及微觀形貌分析解決方案。三合一測量技術(shù)

S lynx 2 配備了干涉測量、共聚焦和 AI 多焦面疊加三種強大的測量技術(shù)。干涉測量中的白光垂直掃描干涉（VSI）技術(shù)，適用于測量從光滑到適度粗糙的表面，無論物鏡的數(shù)值孔徑（NA）或放大倍數(shù)如何變化，均可提供納米級的垂直分辨率。共聚焦技術(shù)則具有更高的橫向分辨率，可達 0.10μm，能實現(xiàn)臨界尺寸測量，利用 150 倍、0.95 數(shù)值孔徑的鏡頭時，在光滑表面測量斜率達 70°，粗糙表面達 86°。AI 多焦面疊加技術(shù)專為測量非常粗糙的表面形貌設(shè)計，具有快速（mm/s 級別）、掃描范圍大且支持大斜率（最大 86°）測量的特點，對工件和模具測量特別有用。

高精度數(shù)據(jù)采集與處理

該輪廓儀采用*的光學(xué)測量解決方案，可針對各種材料的不同表面，自動選擇優(yōu)良技術(shù)進行數(shù)據(jù)采集，確保測量精度。采集計算在傳感器頭內(nèi)執(zhí)行，能充分利用 PC 功率進行數(shù)據(jù)分析，提高了數(shù)據(jù)處理效率。其系統(tǒng)噪聲低，配合*的算法，測量精度可達亞納米級別，可滿足各類高精度測量需求。

大范圍擴展測量能力

S lynx 2 具備*的拼接功能，創(chuàng)新算法覆蓋整個電動平臺范圍，雖系統(tǒng)體積小巧，但能實現(xiàn) 125 x 75 毫米的測量范圍，可在更大范圍內(nèi)采集高分辨率數(shù)據(jù)，滿足大尺寸樣品或需要大面積測量的場景需求。

便捷的操作與豐富的軟件功能

S lynx 2 搭配 SensoSCAN 軟件系統(tǒng)，該軟件遵從 ISO:25178 標(biāo)準(zhǔn)，界面直觀，操作便捷。用戶只需找到測量位置，點擊 3D 測量按鈕，軟件即可自動調(diào)整照明亮度、自動對焦，并執(zhí)行優(yōu)良測量模式，快速呈現(xiàn)精準(zhǔn)測量結(jié)果。軟件提供實時圖像，且有多種實時圖像模式可選，共聚焦照明模式下圖像幀率可達 9 幀 / 秒，明場照明模式下高達 30 幀 / 秒。此外，軟件還支持豐富的參數(shù)設(shè)定，優(yōu)化后的參數(shù)可存儲為單點或多點程序測量，方便重復(fù)測量。同時，交互式的 3D 和 2D 視圖提供了多樣的分析、演示和渲染選項，還具備數(shù)據(jù)補償、形狀去除、濾波分析等進階分析功能，可滿足不同用戶的多樣化需求。

緊湊設(shè)計與廣泛適用性

S lynx 2 結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)計簡潔，可放置在生產(chǎn)車間或?qū)嶒炇业娜魏蔚胤?，不占用過多空間。其多功能性使其適用于多種表面測量應(yīng)用，涵蓋汽車、消費電子、能源、LCD、材料科學(xué)、微電子、微制造、半導(dǎo)體、模具和手表制造等多個領(lǐng)域。無論是光滑的半導(dǎo)體晶圓，還是粗糙的模具表面，亦或是具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的微機電系統(tǒng)部件，S lynx 2 都能憑借其多種測量技術(shù)，提供準(zhǔn)確的表面形貌測量結(jié)果。

總之，西班牙 Sensofar 3D 表面光學(xué)輪廓儀 S lynx 2 以其技術(shù)優(yōu)勢、便捷的操作和廣泛的適用性，成為 3D 光學(xué)輪廓測量領(lǐng)域的優(yōu)秀設(shè)備，為科研和工業(yè)生產(chǎn)中的表面測量提供了可靠的解決方案，有助于推動各相關(guān)領(lǐng)域的高精度檢測與質(zhì)量控制水平提升。

西班牙Sensofar 3D表面光學(xué)輪廓儀 S lynx 2：高精度表面測量的利器