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PicoFemto透射电镜原位MEMS低温电学测量系统

泽攸透射电镜原位MEMS低温电学测量系统，是在标配MEMS芯片样品杆上集成低温控制模块，实现低温电学测量或全温区测量功能。

性能指标：

1.透射电子显微镜指标：

（1）兼容指*型号电镜及极靴；

（2）单倾可选高倾角版本；

（3）可选双倾版本，β角倾转±25°（同时受限于极靴）；

（4）测量电极数可选。

2.电学测量指标：

（1）包含一个电流电压测试单元；

（2）电压输出最大±200 V，最小±100 nV；

（3）电流测量最大±1.5 A，最小100 fA；

（4）恒压或者恒流模式；

（5）自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

3.低温指标：

（1）兼容MEMS加热及电学芯片；

（2）全温区测量，温度范围：85 K- 380 K；

（3）控温稳定性：优于±0.1 K；

（4）温度连续可控。