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青岛芯笙微纳

专注于气体质量流量计和气体质量流量控制器

青岛芯笙微纳电子科技有限公司在气体质量流量计技术方面，具有完整的设计、制造、封装和测试技术。

以S300系列流量控制器产品为例，其特点如下：

稳定的流量控制技术：

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气体流量控制是基于流量传感器和比例阀在PID控制算法的作用下实现，所采用的PID算法一般具有动态调整功能，可以适配工况进行动态调整，从而实现快速的流量切换以及稳定流量输出。下图为10L 流量控制器的最大流量点稳定性对比，以10SLM流量点为例，本产品波动±8sccm，三台竞品分别为±13sccm，±116sccm，±19.5sccm。(数据由第三方MFM记录，黄线为我司产品）

图1.2三款10L 流量控制器在满量程点的波动对比

温补补偿技术研究：

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温度补偿（Temperature compensation)，大幅度温度变化会对传感器灵敏度、电路系统、气路结构等关键部件产生微弱影响，通常在0-50℃范围内有3%左右到读数误差（无温补情况下），如下图所示。本公司流量计，采用全量程温度方法，进行精确温度补偿，用于保证满量程范围内温漂误差控制在1%以内。

图1.3MFC-E10 L流量下的温度补偿效果测试数据

流量计压损研究：

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流量计压损（Pressure loss）是流量计的关键指标之一，是保证流量计正常工作的最di压力差。流量计压损一般随流量的增大而增大，同时受到解决方案的影响，芯片上热式流量计压损，远小于涡街流量计和差压式流量计。