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 气体的种类多种多样，气体的用途亦多种多样，气体流量的大小以及用量的多少是一个严肃的问题。青岛芯笙微纳电子科技有限公司针对此设计并研发出了MFM-50系列气体质量流量计，此流量计自带显示屏，通过按键操作，既可以监测气体当前瞬时流量，又可以显示气体累积流量，此产品在实验室及工业气体流量用量计量方面应用尤为广泛。

图1：MFM-50气体计量系统

图2：MFM-50装配图

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Xinnovis MFM-50 系列气体质量流量计专门用于气体流量的高精度测量。该系列流量计采用业内先进的流量传感芯片，结合航空铝材抛光气体流道设计以及公司核心的标定和补偿算法，实现对各类清洁、干燥气体的高精度流量检测。该系列产品典型测量精度为±1.5%，量程比达到500:1，此系列产品的量程从 10SCCM 到 200SLM 内可选（其它量程可咨询定制），并配有液晶显示、数字输出，方便用户现场和远程调试。该产品成本低、易安装、不需要额外温度和压力补偿，可替代热式毛细管等传统流量计使用。