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位移探针台的介绍
阅读：523 发布时间：2022-11-14
探针台是半导体行业重要的检测装备之一，探针台主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。其广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
重光提供的TS600E-OE位移探针台可以在测试准备和测试过程中精确移动探针位置，实现微米级别的电极接触；同时探针前端可调整角度和长度，从而适应样品范围更加广泛。位移探针台广泛应用于半导体、生命科学、食品研究、药物研发、地质分析、高分子聚合物、航空航天、冶金、液态晶体、生物学等各种研究领域。技术参数如下：
| TS600E-OE | |||
| 制冷方式 | 无 | 正面观察窗口大小 | φ41mm |
| 温度范围（℃） | -196到600℃ | 探针类型 | 探针后端XYZ轴方向位置可调，位移精度1um，位移范围±6mm |
| 显示精度（℃） | 0.1 | 探针材质 | 钨钢或铍铜（探针针尖1um） |
| 控温精度 | 0.1℃ | 探针数量 | 四个（可拓展为6个） |
| 样品区域 | 30*35mm | 外观尺寸 | 410*410*80mm |
| 最大加热速率 | 50℃/min | 腔体净重 | 5Kg |
| 最大冷却速率 | -40℃/min | 备注 | 探针前端水平角度和长度可调 |