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詳細(xì)介紹
Nanonex Lumina-200納米壓印獨(dú)立式高分辨率光刻/對(duì)準(zhǔn)器。 Lumina系列為電子，光電，MEMS和許多其他應(yīng)用中的高分辨率，對(duì)準(zhǔn)，接觸和接近光刻提供了高質(zhì)量，可靠且經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。 它具有易于使用的界面，高精度的載物臺(tái)，高性能的光學(xué)元件和較小的占地面積。
Nanonex Lumina-200納米壓印主要特點(diǎn)
高分辨率光刻
高精度對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)
*的對(duì)準(zhǔn)光學(xué)
間隙控制
用戶(hù)友好的PC控制
占地面積小
具有成本效益的設(shè)計(jì)
背面對(duì)齊可選
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體器件 *微機(jī)電系統(tǒng) *光電子學(xué) *高級(jí)包裝 *電力設(shè)備
技術(shù)參數(shù)
手冊(cè)X-Y-?
帶稱(chēng)重傳感器的電動(dòng)Z
移動(dòng)范圍： X和Y：1英寸
?：10度
Z：0.25英寸
掩膜加載能力
5”口罩標(biāo)準(zhǔn)
其他尺寸可選
基板裝載能力
4”標(biāo)準(zhǔn)
其他尺寸可選
對(duì)準(zhǔn) 模式：接近、柔和、硬
對(duì)準(zhǔn)光學(xué)
分割欄 5倍物鏡，1到7倍變焦
2個(gè)獨(dú)立的手動(dòng)X，Y，Z顯微鏡移動(dòng) 精細(xì)粗調(diào)
通過(guò)CCD相機(jī)成像
曝光系統(tǒng)
紫外線(xiàn)：汞燈，帶有可選的G線(xiàn)或I線(xiàn)過(guò)濾器
紫外線(xiàn)燈功率：500瓦
紫外線(xiàn)均勻照射
電動(dòng)紫外線(xiàn)燈移動(dòng)
具有Microsoft Windows的基于PC的控制計(jì)算機(jī)
用戶(hù)友好的控制軟件 PC控制的CCD視頻
紫外線(xiàn)燈曝光由電腦控制
占地面積：31英寸乘44英寸（780毫米乘1110毫米）