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产品简介
YES-CV200RFS等离子剥离/抛光系统利用低频，下游和电容性等离子工艺。避免使用有毒的化学药品，以进行温和的“除垢"清洁以及强韧的光刻胶，聚酰亚胺和BCB的强力等离子体剥离。通过湿法工艺可获得更高的产量和可重复的结果。
详细介绍
享受高达每分钟7,000埃的快速剥离速度，同时实践对工程师和操作员而言更安全的绿色制造。无需有毒化学物质，RFS系列可为各种应用提供较低的拥有成本和灵活的等离子功率设置。此外，RFS系列等离子剥离/抛光系统提供的温度控制，以实现均匀，可重复的结果。下游过程不提供等离子体充电。当准备好进行大规模生产时，您可以无缝过渡到我们的大批量自动化EcoClean系统。
强大的清洁功能可去除光致抗蚀剂，聚酰亚胺和BCB；
等离子剥离/抛光系统具有温和的Descum功能
享受高达每分钟7,000埃的快速剥离速度，同时实践对工程师和操作员而言更安全的绿色制造。无需有毒化学物质，RFS系列可为各种应用提供较低的拥有成本和灵活的等离子功率设置。此外，RFS系列提供的温度控制，以实现均匀，可重复的结果。下游过程不提供等离子体充电。当准备好进行大规模生产时，您可以无缝过渡到我们的大批量自动化EcoClean系统。
强大的清洁功能可去除光致抗蚀剂，聚酰亚胺和BCB；
具有温和的Descum功能技术参数
