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旋涂仪的操作说明
阅读：5138 发布时间：2021-8-26
旋涂仪有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是一样的，既在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
旋涂仪的操作说明：
1.开机前准备
(1) 用丙酮与无尘纸清理之前光阻图布的残余物.
(2) a. 选择适合尺寸大小的吸盘(1/2",1",2",3",4",5",6",7",8").
b. 将吸盘装上(将吸盘缺口处对准轴心之插梢位置).
c. 将样品放在吸盘上(启动前请确定样品放在吸盘正中央的位置). ※ 不可放入破片只能放4吋晶圆,以防光阻倒流入真空吸槽.
2.开机&设定
(1) a. 将"POWER"开关打开.
b. 将"CONTROL"按钮压下(若没有压下则机台将无法操作).
(2) 设定涂布的时间及转速 : Step I Timer I : 2~18 Sec Speed I : 500~2500R.P.M. Step II Timer II : 3~60 Sec Speed II : 1000~8000R.P.M.
(3) 打开真空帮浦开关,并将"VACUUM"按钮压下此时开始抽真空吸附样品. 启动"START"前,请确认涂布的时间及转速是否已设定完成.
(4) 将光阻剂滴在样品中心的位置.并将上盖盖上,防止意外发生.
(5) 压下"START"按钮,此时机台开始依步骤(4)的设定条件依Step I,Step II 的 顺序开始涂布样品.
(6) 待时间完毕后,机台随即停止运转,完成涂布的动作.
3.关机
(1) 将"VACUUM"关闭,并将真空帮浦关闭,取下完成样品.
(2) 将"CONTROL"按钮及"POWER"开关关闭. PS. 此机台有预留废液回收口,可将多余废液排出.
(3) 用丙酮清理图布后的光阻痕迹.
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