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臭氧傳輸系統(tǒng)ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)為要求最高的半導體應用而設計。這個高度可靠的臭氧輸送系統(tǒng)適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統(tǒng)整合wan全，操作簡單，能夠方便的與絕大多數(shù)半導體機臺聯(lián)動，插入即可使用。該系統(tǒng)基于微處理器的控制器能夠根據(jù)用戶提供的設定值伺服控制臭氧輸送。該臭氧輸送系統(tǒng)包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統(tǒng)的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險。
臭氧傳輸系統(tǒng)規(guī)格
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