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微電子行業(yè)氣體品質(zhì)檢測(cè)五項(xiàng)測(cè)試檢測(cè)技術(shù)內(nèi)容

微電子行業(yè)氣體品質(zhì)檢測(cè)測(cè)試項(xiàng)目包括微粒、氧氣含量、水份、氦氣測(cè)漏與壓力測(cè)試。

注：1、管路微粒、水氧等測(cè)試前須先銜接廠務(wù)端接點(diǎn)后，以閥箱或氣柜內(nèi)之test port通入N2(c)進(jìn)行測(cè)試，如N2（C）純度不夠無(wú)法滿足要求，廠商需自配純化器。

    2、施工purge及保壓、微粒、水份測(cè)試等限定使用N2微電子行業(yè)氣體品質(zhì)檢測(cè)

微電子行業(yè)氣體品質(zhì)檢測(cè)五項(xiàng)測(cè)試檢測(cè)出報(bào)告一、管線測(cè)試規(guī)范如下：

1.管路持壓測(cè)試

Bulk-gas及Purified-gas持壓測(cè)試時(shí)間≧6小時(shí)； Special-gas持壓測(cè)試時(shí)間≧24小時(shí) (須檢附保壓記錄器圓盤(pán)記錄紙)；合格標(biāo)準(zhǔn)：氣體保壓測(cè)試初始?jí)毫?.5~8.5 kg/cm2，持壓后△P≦1%初始?jí)毫?/span>

2.管路微粒測(cè)試

Purified-gas 及 Special-gas氣體管路須進(jìn)行微粒測(cè)試，并須檢附Particle Counter紀(jì)錄紙；合格標(biāo)準(zhǔn)：每10分鐘測(cè)1點(diǎn)，連續(xù)測(cè)3次，Purified-gas、Special gas粒徑≦0.1μm，顆粒數(shù)≦0 pcs/cf

3.管路水份/氧分析測(cè)試

Purified-gas 及 Special-gas（含H2、不含NG）氣體管路須進(jìn)行水份、氧分析測(cè)試，并須檢附水份、氧分析儀紀(jì)錄紙；合格標(biāo)準(zhǔn)：測(cè)試時(shí)間30分鐘，D.P(含水量)≦10 ppb   D.P(含氧量)≦10 ppb。水份分析儀誤差range為±4ppb，允許實(shí)測(cè)讀值應(yīng)小于6ppb

4.管路氦測(cè)漏

Purified-gas 及Special-gas（含H2、不含NG）氣體管路須進(jìn)行氦測(cè)漏測(cè)試，并須檢附氦測(cè)漏機(jī)紀(jì)錄紙；合格標(biāo)準(zhǔn)：測(cè)試時(shí)間30分鐘，漏率≦1*10-9 Atm cc/sec

二.測(cè)試要求：

所有測(cè)試按接機(jī)點(diǎn)計(jì)算，必須保證所有管路均有測(cè)試，必須將所有管路末端單一逐一測(cè)試，或者末端串聯(lián)測(cè)試，保證管路都經(jīng)過(guò)儀器檢測(cè)，測(cè)試高純氣體與特殊氣體分開(kāi)測(cè)試。