微粒表面尘埃粒子理化分析仪QIIISM 是一款用于测量和检测机台表面微粒子SPD的精密仪器，它采用目前的技术来实现量测的精确性和机台的稳

定性。人的肉眼很难看清直径在 100um 以下的粒子，这些粒子会快速沉降，逃

避常规的空气检测从而聚积在关键表面或产品上，从而减少产品的良率及降低产

品的稳定性，QIII SM 表面粒子检测器测量（0.3~10um）的粒子，对于生产环 境的控制，提升产品的良率都起到了很大的作用，能够 帮助企业更快捷的实现数据化管理

BENEFITS • 快速测量表面颗粒 • 可以帮忙控制机台产品上的颗粒物从而提高产量 • 通过快速识别粒子源，减少故障排除时间 • 可以监测物料，来料，以及Parts上的Particle • 减少PM的周期 • 符合 ISO 14644-9表面粒子操作规范 • 减少粒子相关故障  QIII SMTM SIDE VIEW 表面尘埃粒子理化分 析仪 0.3-10um 微粒表面尘埃粒子理化分析仪QIII SM orp.c Particle 测量范围: 0.3um -10um  • 粒径通道: 0.3, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0um  • 激光源: 镭射激光 • 尺寸 & 重量: 30.5cm X 26.7cmX 22.9cm, 8.4 公斤 • 电池:2块可热插拔锂电池 • 显示: 7" 英寸WVGA触摸屏 • 数据显示: 颗/平方厘米,颗/平方英寸,颗 • 可智能分析测试数据平均值 • 数据输出: USB,以太网, WiFi（选配） • 探头包含: ?" 英寸直角探头. • 输入功率: 100-240 VAC, 50/60 hz • 取样模式: 静态取样和动态取样 • CE认证 • 语言: 英语, 中文, 日文, 韩文 • 美国制造