目录:上海波铭科学仪器有限公司>>光谱系统>>显微缺陷膜厚>> 相位差测量装置 RETS-100nx New
● 采用了偏光光学系和多通道分光检出器
● 有可对应各种尺寸的装置，从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板
● 安全对策和粒子对策，可对应液晶line内的检查设备
● 封入cell gap
● twist角
● rubbing角
● pretilt角［TN,IPS,FFS,MVA］
● 空cell gap
● 相位差（复折射相位差）的波长分散
● 光学轴
● 椭圆率/方位角
● 三次元折射率/Rth/β
● 分光光谱/色度
● 液晶cell
- 透过、半透过型液晶cell（TFT、TN、STN、IPS、VA、OCB、強感应电）
- 反射型液晶cell（TFT、TN、IPS、VA）
● 光学材料
- 其他（相位差?椭圆?偏光膜、液晶材料）
| 型号 | RETS series |
|---|---|
| 样品尺寸 | 20mm×20mm ～ * |
| cell gap测量范围 | 0.1μm ～ 数10μm |
| cell gap重复性 | ±0.005μm |
| 检出器 | 多通道分光光度计 |
| 测量波长范围 | 400nm ～ 800nm |
| 光学系 透过用偏光子unit | 偏光光学系 消光比 10-5内置Gran-tomson prism（方解石） 自动旋转（角度精度0.1°）、自动装卸机构 |
| 测量口径 | φ2, φ5, φ10 (mm) |
| 光轴倾斜机构 | -20 ～ 45°、-45 ～ 45°等 |
* 大型玻璃基板也可用（2000mm×2000mm以上）
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