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产品简介
小型1000℃RTP管式炉是一款精巧型快速热处理管式炉，配有4“石英管和真空法兰，是专为半导体或太阳能电池基片（大3“）的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热，升温速度为 50℃/s，设有30段温度控制，精度为±1℃。此外，通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。
详细介绍
小型1000℃RTP管式炉 是一款精巧型快速热处理管式炉。本机采用红外灯管加热，升温速度为 50℃/s，设有30段温度控制，精度为±1℃。
小型1000℃RTP管式炉技术参数
技术参数 |
1、电源：220AC，50Hz/60Hz 2、炉体结构：双层结构构 3、石英管：外径?110mm，内径?103mm，长380mm 4、样品架：76mm 5、加热元件：红外灯管，、 7、热偶：K型热偶 8、设计温度：1100℃， 9、控温精度：±1℃ 10、升温速度：RT-800℃内50℃/s，800℃-1000℃内10℃/s 12、真空度：（机械泵），（分子泵） 13、真空法兰： 带有KF-D25高真空不锈钢法兰，配有两个高温O型圈密封 14、流量计：16ml/min-160ml/min | ||
