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[供應(yīng)]kSA SpectR 光譜反射率測試儀
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  • kSA SpectR 光譜反射率測試儀
貨物所在地:
北京北京市
產(chǎn)地:
美國
更新時間:
2025-07-09 16:54:26
有效期:
2025年7月9日 -- 2025年10月9日
已獲點擊:
22
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產(chǎn)品簡介

這是一種用于測量光譜絕對反射率,L*a*b*成色值和生長速率的非接觸式測量設(shè)備。kSA SpectR 光譜反射率測試設(shè)備具有多種在線監(jiān)控和過程控制的應(yīng)用功能,包括垂直腔表面發(fā)射激光器(VCSEL),分布式布拉格反射器(DBR)和其他一些復(fù)雜的設(shè)備結(jié)構(gòu)。該設(shè)備主要應(yīng)用于監(jiān)控測量sputtering,MBE和MOCVD等薄膜生產(chǎn)研究。

詳細(xì)介紹

kSA SpectR 光譜反射率測試設(shè)備是一種用于測量光譜絕對反射率,L*a*b*成色值和生長速率的非接觸式測量設(shè)備。該工具具有多種在線監(jiān)控和過程控制的應(yīng)用功能,包括垂直腔表面發(fā)射激光器(VCSEL),分布式布拉格反射器(DBR)和其他一些復(fù)雜的設(shè)備結(jié)構(gòu)。該設(shè)備主要應(yīng)用于監(jiān)控測量sputtering,MBE和MOCVD等薄膜生產(chǎn)研究。


kSA SpectR 光譜反射率測試設(shè)備的光學(xué)鏡組被配置為鏡面反射的幾何形狀。在這種測量原理中,薄膜每生長出一個新layer,程序就會自動擬合,將已有的所有基底和薄膜layer視為一個新的虛擬基底。kSA SpectR可以同時以多個波長進(jìn)行測量,每個波長都具有潛在的特性。此設(shè)備可在選定的波長范圍內(nèi)測量自定義光譜特征,如反射率的最小值、最大值、拐點或基線散射水平。


測量實例

850 nm DBR的光譜反射率

kSA SpectR 光譜反射率測試儀


在GaAs襯底上生長250nm的AlAs和500nm的GaAs時,532和940nm下的反射率及其擬合曲線

kSA SpectR 光譜反射率測試儀


AlAs生長期間的生長速率,光學(xué)常數(shù)和反射率實時擬合曲線

kSA SpectR 光譜反射率測試儀

kSA SpectR 光譜反射率測試儀


AlAs和GaAs生長的未經(jīng)校正的高溫計測量結(jié)果和經(jīng)過校正的ECP溫度

kSA SpectR 光譜反射率測試儀


GaAs薄膜生長過程中單個反射率振蕩周期圖

kSA SpectR 光譜反射率測試儀





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