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薄膜生長速率測試儀

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更新時間：2024/07/04 15:40:54瀏覽次數(shù)：1721

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 進口 應用領域 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池
薄膜生長速率測試儀，采用無損的激光技術實時原位檢測薄膜沉積速率、薄膜厚度以及光學常量（n&k），可廣泛的應用于金屬有機化學氣象沉積MOCVD、分子束外延MBE、濺射系統(tǒng)Sputtering和蒸發(fā)系統(tǒng)等薄膜沉積過程的實時原位監(jiān)控。

詳細介紹

薄膜生長速率測試儀，采用無損的激光技術實時原位檢測薄膜沉積速率、薄膜厚度以及光學常量（n&k），可廣泛的應用于金屬有機化學氣象沉積MOCVD、分子束外延MBE、濺射系統(tǒng)Sputtering和蒸發(fā)系統(tǒng)等薄膜沉積過程的實時原位監(jiān)控。

薄膜生長速率測試儀

主要特點：

*實時薄膜沉積速率、薄膜厚度和光學常數(shù)（n&k）分析，同時標準偏差統(tǒng)計分析；

*自動程序化校準；

*實時反饋系統(tǒng)；

*程序控制，可實時多層薄膜沉積監(jiān)控和控制；

*多Wafer監(jiān)控功能；

*Wafer基底旋轉監(jiān)控和控制功能；

*所有參量原位實時檢測；

*操作裝配簡單便捷；



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