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一、产品特点

■  高精度椭偏测量解决方案；

■  超高精度、快速无损测量；

■  支持多角度、微光斑、可视化调平系统功能模块灵活定制；

■  丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力。

■ 采用高性能进口复合光源，光谱覆盖可见到近红外范围 (380-1000nm)，可支持扩展紫外到近红外范围 (193-2500nm)

■  高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集；

■ 支持系列配置灵活，可根据不同应用场景支持多功能?？榛ㄖ疲?/span>

■ 数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料；

二、技术规格