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详细介绍
日本芝浦机电shibaura油扩散真空泵ESV系列
ESV系列的功能
该系列使用内部加热型护套加热器，以从超高真空区域到高，中和真空区域获得稳定的压力，并防止由于油在超高真空下突然沸腾而引起的压力波动。
ESV系列提高了加热油的热效率（与我们公司相比），因此具有运行时间短，排气量大和临界背压高的特点。另外，可以减少液压油的量。
使用例
- 各种真空炉
- 各种实验的排气装置
- 各种成膜设备
- 电子束焊接
日本芝浦机电shibaura油扩散真空泵ESV系列
ESV系列阵容
| 模型 | 单位单位 | ESV-161 | ESV-221S | ESV-241 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 大排气速度 | 升/秒 | 7,500 | 13,500 | 20,000 | |
| 达到压力 | 帕 | 10 -5 | 10 -5 | 10 -5 | |
| 工作压力范围 | 帕 | 10 -5至0.4 | 10 -5至0.4 | 10 -5至0.4 | |
| 临界背压 | 帕 | 33 | 35 | 33 | |
| 大排气量 | 帕升/秒 | 1,130 | 1,680 | 1,460 | |
| 用油 | 狮子A | 狮子A | 狮子A | ||
| 油量 | 大号 | 2 | 3 | 五 | |
| 垫片 | 氯丁橡胶 | 氯丁橡胶 | 氯丁橡胶 | ||
| 加热器 | 格式 | 种子 | 种子 | 种子 | |
| 电压，相 | ACV，相 | 200、3 | 200、3 | 200、3 | |
| 格式 | 千瓦 | 5.5 5.5 | 7.5 7.5 | 9.0 | |
| 进气口 | VG400 | VG550 | VG600 | ||
| 辅助端口 | VG100 | VG150 | VG150 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷却水量 | L / min，在25℃时 | 11 | 15 | 15 | |
| 辅助泵 | KP-4500BG | KP-7500BG | KP-7500BG | ||
| 挡板格式 | 16C（雪佛龙） | 22L（百叶窗） | 24L（百叶窗） | ||
| 带挡板的排气速度 | 升/秒 | 3,000 | 6,500 | 8,000 | |
| 挡板冷却水量 | L / min，在25℃时 | 11 | 3 | 3 | |
| 机油倒流 | cm 3 / cm 2分钟 | 10 -7 | 10 -7 | 10 -7 | |
| 材料 | 圆筒 | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | |
| 喷射 | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | ||
| 大众 | 公斤 | 160 | 250 | 350 | |
| 模型 | 单位单位 | ESV-24S | ESV-281S | ESV-361S | |
| 大排气速度 | 升/秒 | 19,000 | 23,000 | 39,000 | |
| 达到压力 | 帕 | 10 -5 | 10 -5 | 10 -5 | |
| 工作压力范围 | 帕 | 10 -5至0.4 | 10 -5至0.4 | 10 -5至0.4 | |
| 临界背压 | 帕 | 30 | 30 | 40 | |
| 大排气量 | 帕升/秒 | 1,300 | 2,500 | 2,800 | |
| 用油 | 狮子A | 狮子A | 狮子A | ||
| 油量 | 大号 | 五 | 五 | 9 | |
| 垫片 | 氯丁橡胶 | 氯丁橡胶 | 氯丁橡胶 | ||
| 加热器 | 格式 | 种子 | 种子 | 种子 | |
| 电压，相 | ACV，相 | 200、3 | 200、3 | 200、3 | |
| 格式 | 千瓦 | 9.0 | 12 | 15.6 | |
| 进气口 | VG600 | VG700 | VG900 | ||
| 辅助端口 | VG150 | VG200 | VG200 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷却水量 | L / min，在25℃时 | 15 | 15 | 15 | |
| 辅助泵 | KP-7500BG | TMB-1500 + KP-4500BG | TMB-2500 + KP-7500BG | ||
| 挡板格式 | 24L（百叶窗） | 28L（百叶窗） | 28L（百叶窗） | ||
| 带挡板的排气速度 | 升/秒 | 10,500 | 120,000 | 22,000 | |
| 挡板冷却水量 | L / min，在25℃时 | 3 | 3 | 3 | |
| 机油倒流 | cm 3 / cm 2分钟 | 10 -8 | 10 -7 | 10 -7 | |
| 材料 | 圆筒 | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | |
| 喷射 | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | ||
| 大众 | 公斤 | 200 | 400 | 830 | |
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