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日本DNK實驗研究用曝光機技術

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日本DNK實驗研究用曝光機技術

MA-1200,MA-1400

  • 手動批曝光機,用于實驗和研究,支持玻璃,晶圓,膠片等。小批量生產的理想選擇。
  • 可以選擇接觸曝光(軟/硬)和接近曝光。
  • 支持最大500 mm x 500 mm的板。配備了光學系統(tǒng),可根據(jù)應用和板子尺寸將超高壓汞燈(500W,1kW,2kW,3.5kW)與各種鏡子,特殊透鏡,聚光鏡等??進行z佳組合。

MA-1200A

  • 手動批量曝光機非常適合于高混合,小批量生產,實驗和研究,并且可以進行穩(wěn)定的自動間隙控制。

  • 通過減少占用空間實現(xiàn)節(jié)省空間。

?主要規(guī)格

 MA-1200MA-1400
板子尺寸最大200 x
200mmø4“?ø6”
高達400 x 400mm
光源超高壓汞燈:500W或1kW超高壓汞燈:2kW或3.5kW
尺寸及重量車身尺寸寬12x深1100 x高1725毫米寬1440 x深1590 x高1882毫米
體重400公斤400kg(包括干凈的圍欄)
光源重量--250公斤
選項支持特殊的工作尺寸,例如干凈的圍欄,背面對準,硬接觸(真空接觸類型),自動對準,破裂的基板(需要咨詢)

*我們接受有關板子尺寸,水銀燈瓦數(shù)和特殊規(guī)格的咨詢。

 MA-1200A
晶圓尺寸ø2“?ø6”
光源超高壓汞燈:500W或1kW
尺寸及重量車身尺寸寬850 x厚1150 x高1665毫米
重量400公斤
選項背面對齊,自動對齊,開裂的板,條形碼讀取器和LOG存儲支持(需要咨詢)

*我們接受有關特殊規(guī)格的咨詢,例如板子尺寸,水銀燈瓦數(shù)和UV-LED安裝。

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