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日本krosaki真空吸盘、静电吸盘的推荐
阅读：939 发布时间：2025-1-3日本krosaki真空吸盘、静电吸盘的推荐
静电吸盘
静电吸盘用于在半导体制造的真空工艺中固定、运输和校直晶圆。
我们的Johnsen-Rahbek型静电吸盘因其的材料技术和加工技术而受到好评。
特征
出色的附着/分离响应能力
通过优化材料结构，表现出极其优异的附着/分离响应。
这有助于显着提高吞吐量。优异的平整度
我们的抛光技术可在整个表面上提供高精度的平整度。
此外，还可实现优异的表面粗糙度，从而实现高吸附能力并减少颗粒量。高耐用性
由于电介质、内部电极和绝缘体作为一个整体进行烧制，因此与使用粘合剂集成的静电吸盘相比，它具有长期稳定性。
物性表
| 材料 | Al 2 O 3 (添加TiO 2 ) | |
|---|---|---|
| 比重 | - | 3.98 |
| 杨氏模量 | GPa | 400 |
| 泊松比 | - | 0.24 |
| 断裂韧性值 | 兆帕·米1/2 | 4.6 |
| 维氏硬度 | 98N,GPa | 14 |
| 相对介电常数 | - | 10.7 |
*所列数据为典型值，并非保证值。
产品数据（参考值）
?施加电压：+300V / -300V
?吸附/脱附时间：3秒以下
?吸附力：706N（φ300mm、销表面积0.75%）
*所列数据为典型值，并非保证值。
真空吸盘
利用多孔陶瓷特性的真空吸盘。
多孔陶瓷是具有从内部到表面连续连通的孔（连通孔）的陶瓷，就像海绵一样。
还有各种其他名称，如真空吸盘、真空吸盘、吸盘等，但通过在吸附表面上产生真空，将被吸附的物体保持在大气压力下并固定（吸盘））相同。该原理适用于吸盘之类的东西。
以前，通过加工凹槽和孔来形成空气通道来吸附空气，但薄膜等薄的吸附材料存在被吸入凹槽和孔中并变形等问题。另一方面，多孔陶瓷具有遍布整个表面的微米级孔，可以均匀地吸附被吸附材料而不使其变形。
我们的真空吸盘可以从材料到加工以一体化方式制造，并且我们有多种选择。
多孔吸盘
利用多孔陶瓷的特性，可以无偏压地均匀吸附并固定整个物体（薄膜、基板、晶圆等）。
只要处于大气压下，无论磁性还是非磁性，都有可能吸引磁铁。
适用于固定薄膜产品，例如薄半导体器件、固定 3D 内存基板、固定薄膜/胶片以及倒装芯片接合机的吸附台。
局部吸台AH吸盘
该吸盘采用特殊材料多孔陶瓷（AH材料），可实现局部吸力。
单台可拾取8英寸、12英寸等不同尺寸的工件。
普通的多孔吸盘必须覆盖整个表面才能固定，因为吸盘表面将因泄漏而不再是真空，但AH吸盘采用孔径和孔隙率受控的材料，可以防止从开放部分泄漏?？梢越泄潭ㄒ砸种蒲沽Σ⒈３终婵兆刺?。
它可用于多种用途，例如用于干处理的抽吸台和用于检查不规则形状物体的固定台。
产品阵容/技术介绍
阵容
| 产品名称 | 平均孔径 [μm] | 孔隙率[%] |
|---|---|---|
| MP580 | 第580章 | 45～50 |
| MP230 | 230 | 45～50 |
| MP130 | 130 | 45～50 |
| MP100 | 100 | 45～50 |
| MP060 | 60 | 45～50 |
| MP040 | 40 | 45～50 |
| 电导率 | 二十五 | 15-18日 |
| 啊 | 2 | 30～35 |
- 多孔部件有100μm和60μm的标准尺寸可供选择，但孔径可以根据您的要求进行选择。
?标准平面度：5μm
*所列数据为典型值，并非保证值。
?大型物品以及方形等不规则形状的物品也可以处理。
?我们还可以建议符合您的应用和要求的产品，例如内置加热器的产品、使用导电材料或黑色底座（用于图像识别）的产品。
高精度多孔吸盘
《粘合面SEM照片》
?与将金属（SUS或铝）底座粘合到多孔陶瓷上的标准产品不同，我们使用轻质（密度3.9g/cm 3）和高刚性的氧化铝陶瓷作为底座，使吸盘更易于使用。提高各种尺寸精度。
- φ300尺寸可适应3μm以下的平面平行度。
?与金属真空吸盘相比，随着时间和温度的变化，接合精度的稳定性大大提高。
- 特殊粘合解决了粘合界面出现间隙的问题，不会因吸力或压力而产生凹痕。