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技術(shù)文章

小型貴金屬濺射鍍膜機(jī)SC-701MkII介紹

閱讀:823          發(fā)布時(shí)間:2024-1-31

小型貴金屬濺射鍍膜機(jī)SC-701MkII介紹

該系列中最小的貴金屬濺射鍍膜機(jī),可讓您輕松創(chuàng)建薄電極膜。

特征

  • DC 濺射類別中最小的超緊湊型號(hào)。

  • 一種小型濺射裝置,可讓您輕松輕松地制作電極薄膜。

  • 標(biāo)準(zhǔn)配備間歇濺射功能

  • 使用專用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)可以輕松改變 TS 之間的距離。

用途和結(jié)果示例

  • 將電極膜粘貼到各種設(shè)備上

  • 用于反射薄膜生產(chǎn)等。

基本規(guī)格

陰極φ2英寸/扁平電極
濺射靶材單獨(dú)出售 Au/Pt/Pd/Ag/Au-Pd/Pt-Pd
氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)針閥
間歇功能標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
真空泵直連旋轉(zhuǎn)泵:20l/min(帶自動(dòng)泄漏)
腔室尺寸內(nèi)徑 φ90mm x D90mm(SUS材質(zhì))
樣品交換方式前門開閉方式
尺寸(寬/深/高)機(jī)身:160/326/286mm RP:300/160/200mm
重量本體:10kg RP:9kg



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