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準(zhǔn)分子 UV 172nm固化技術(shù)介紹
閱讀：3481 發(fā)布時間：2024-1-10準(zhǔn)分子 UV 172nm固化技術(shù)介紹
“準(zhǔn)分子"，這個詞對于很多人來說可能會比較陌生。但實(shí)際上，準(zhǔn)分子光源技術(shù)已存在多年，并已成功應(yīng)用于一些工業(yè)領(lǐng)域，例如表面處理、消毒、工業(yè)加工、照明等。但在光固化應(yīng)用中，準(zhǔn)分子光源顯示出的特殊效果卻使其在近年來獲得了越來越多的關(guān)注。
“準(zhǔn)分子紫外光固化技術(shù)"，作為光固化技術(shù)的一種，近年來已成為了光固化應(yīng)用領(lǐng)域的技術(shù)熱點(diǎn)之一。以準(zhǔn)分子板材為例，其消光和膚感效果，正是通過運(yùn)用準(zhǔn)分子紫外光固化技術(shù)來實(shí)現(xiàn)的。
在準(zhǔn)分子板材的固化過程中，采用了準(zhǔn)分子紫外光固化與中壓紫外線汞燈固化兩種技術(shù)相結(jié)合的方式。其中，172nm的準(zhǔn)分子紫外線固化技術(shù)，作為其關(guān)鍵技術(shù)之一，正是實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)分子板材消光和膚感效果的主要技術(shù)。其原理在于172nm準(zhǔn)分子光屬于短波紫外線，穿透能力較為有限（100-500nm），僅能對涂層表面進(jìn)行固化。通過這兩種固化方式的結(jié)合使得涂層表面產(chǎn)生微觀意義上的褶皺，形成了光的漫反射，從而達(dá)到消光和膚感的效果。
適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準(zhǔn)分子 VUV 172nm 光源
風(fēng)冷緊湊型準(zhǔn)分子燈單元，燈長160mm，該單元專為VUV 172波長的照射而設(shè)計(jì)，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，具有低成本、高性能的特點(diǎn)，準(zhǔn)分子UV燈可實(shí)現(xiàn)低溫精密處理。
緊湊型準(zhǔn)分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圓和掩模基板的燈。其特點(diǎn)是簡單緊湊、高可靠性風(fēng)冷型、無需更換燈管的長壽命準(zhǔn)分子燈。*1電源為AC100V。
特點(diǎn)
長壽命風(fēng)冷準(zhǔn)分子燈。無需更換燈管
本來，準(zhǔn)分子紫外線燈的結(jié)構(gòu)是燈泡內(nèi)部沒有電極，因此理論上它們被認(rèn)為是長壽命燈，在國外有時被稱為準(zhǔn)分子燈。然而，如今追求高照度的準(zhǔn)分子燈由于燈管材料更輕、更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導(dǎo)致的玻璃變形，往往導(dǎo)致燈管壽命較短，從而導(dǎo)致成本較高。
根據(jù)多年的現(xiàn)場經(jīng)驗(yàn)，Excimer Co., Ltd.的風(fēng)冷緊湊型準(zhǔn)分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件，但不需要更換內(nèi)部電極。燈管本身，實(shí)現(xiàn)低成本和高可靠性。*1
特征
風(fēng)冷方式，安裝方便。
燈管燈長160mm
電源 AC100V 50/60Hz
瞬時開/關(guān)燈功能。
適合研究和開發(fā)。
應(yīng)用領(lǐng)域
表面潤濕性和改性
光化學(xué)
反應(yīng)性O(shè)H自由基過程
抗蝕劑去除
UV O3工藝