化工儀器網(wǎng)
技術(shù)文章
適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準(zhǔn)分子 VUV 172nm 光源介紹
閱讀：1116 發(fā)布時間：2023-11-29適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準(zhǔn)分子 VUV 172nm 光源介紹
風(fēng)冷緊湊型準(zhǔn)分子燈單元，燈長160mm，該單元專為VUV 172波長的照射而設(shè)計，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，具有低成本、高性能的特點，準(zhǔn)分子UV燈可實現(xiàn)低溫精密處理。
緊湊型準(zhǔn)分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圓和掩模基板的燈。其特點是簡單緊湊、高可靠性風(fēng)冷型、無需更換燈管的長壽命準(zhǔn)分子燈。*1電源為AC100V。
特點
長壽命風(fēng)冷準(zhǔn)分子燈。無需更換燈管
本來，準(zhǔn)分子紫外線燈的結(jié)構(gòu)是燈泡內(nèi)部沒有電極，因此理論上它們被認(rèn)為是長壽命燈，在國外有時被稱為準(zhǔn)分子燈。然而，如今追求高照度的準(zhǔn)分子燈由于燈管材料更輕更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導(dǎo)致的玻璃變形，往往會導(dǎo)致燈管壽命較短，從而導(dǎo)致成本較高。
根據(jù)多年的現(xiàn)場經(jīng)驗，Excimer Co., Ltd.的風(fēng)冷緊湊型準(zhǔn)分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件，但不需要更換內(nèi)部電極。燈管本身，實現(xiàn)低成本和高可靠性。*1
特征
風(fēng)冷方式，安裝方便。
燈管燈長160mm
電源 AC100V 50/60Hz
瞬時開/關(guān)燈功能。
適合研究和開發(fā)。
應(yīng)用領(lǐng)域
表面潤濕性和改性
光化學(xué)
反應(yīng)性O(shè)H自由基過程
抗蝕劑去除
UV O3工藝
規(guī)格
| 波長 | 172納米 |
| 燈長 | 160毫米（燈箱型） |
| 功能 | 立即開/關(guān)燈 |
| 燈箱尺寸（燈箱類型） | 寬200×高45×深80mm |
| 電源尺寸（燈箱類型） | 寬250×高140×深200mm |
| 力量 | 交流100V 60Hz 1A |
| 奧普廷斯 | 臭氧過濾器、工藝氣體供應(yīng)裝置 |
*由于采用緊湊型風(fēng)冷設(shè)計，連續(xù)點亮?xí)r間在10分鐘以內(nèi)。