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技術(shù)文章

ballwave微量水分計(jì)的特點(diǎn)及陣容介紹

閱讀:1088          發(fā)布時(shí)間:2022-4-11
  ballwave微量水分計(jì)的特點(diǎn)及陣容介紹
 
  
 
  超微量水分計(jì)“Falcon Trace”是使用球型SAW傳感器定量測量工業(yè)氣體和天然氣中極微量水分子的設(shè)備。
 
  響應(yīng)速度極快,可實(shí)時(shí)監(jiān)測含水量變化,可測量含水量和背景氣體成分分析兩項(xiàng)。氣體中的水濃度可以精確測量到 1ppb(十億分之一)的水平。
 
  案例研究/應(yīng)用
 
  半導(dǎo)體制造設(shè)備制造商
 
  (主要是前端工藝)
 
  電池制造商
 
  及其材料制造商的制造過程
 
  工業(yè)氣體制造商
 
  產(chǎn)品陣容
 
  響應(yīng)速度極快,可在數(shù)秒內(nèi)監(jiān)測含水量變化,有助于穩(wěn)定半導(dǎo)體和二次電池制造過程中的產(chǎn)品良率和質(zhì)量。
 
  無需對每種背景氣體進(jìn)行重構(gòu),當(dāng)天然氣等成分有波動(dòng)時(shí),可以同時(shí)檢測。另外,由于傳感器材料是水晶球,耐腐蝕,而且重量輕,攜帶方便,這也是一大優(yōu)勢。
 
FT-700WT
 
  實(shí)現(xiàn)“超”微量水分測量的系列機(jī)型
 
  測量范圍從露點(diǎn) -110°C 到 -20°C
 
  除露點(diǎn)測量外,背景氣體*成分(相當(dāng)于平均分子量)也以 % 水平檢測
 
  * 背景氣體:測量水含量的氣體
 
  從天然氣到高純度氣體,這一單元涵蓋
 
  應(yīng)用示例
 
  工業(yè)氣體制造過程/出貨時(shí)的質(zhì)量控制,半導(dǎo)體制造材料氣體的純度控制
 
FT-400WT
 
  可在中等范圍內(nèi)進(jìn)行實(shí)時(shí)測量的中等型號
 
  在 1 秒內(nèi)測量從 -90°C 的露點(diǎn)開始的變化,非常適合實(shí)時(shí)控制系統(tǒng)測量
 
  也可以更改為設(shè)備內(nèi)置類型*
 
  * 請聯(lián)系我們
 
  應(yīng)用示例
 
  一般生產(chǎn)線的質(zhì)量控制,電池制造過程的水分含量監(jiān)測
 
FT-300WT
 
  在保持高速響應(yīng)性的同時(shí)強(qiáng)調(diào)便攜性的小型通用型號
 
  1秒內(nèi)測量-70°C露點(diǎn)的變化,支持實(shí)時(shí)測量系統(tǒng)
 
  輕巧緊湊,重量僅為 2 公斤,便于攜帶到目標(biāo)區(qū)域
 
  即使在因電池驅(qū)動(dòng)而沒有商用電源的地方也可以使用
 
  應(yīng)用示例
 
  干燥箱、空間含水量分布、一般氣體
 
  
 

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