在饮用水处理中，地表水污水处理臭氧发生器空气源的主要作用是氧化分解有机物，降低COD。臭氧将大分子有机物降解为小分子有机物，小分子有机物又降解为水和二氧化碳，并采用其它方法使有机物的去除更加经济有效。在很多地区，水源水中的CODMn约为5-6mg/L，而新的饮用水标准规定CODMn应小于3mg/L，因此常规工艺不能满足标准要求，臭氧处理是降解COD的有效方法之一?；鼓苊鹁⑾?、除臭、脱色，去除铁、锰等金属离子，一般不产生二次污染物。臭氧作为消毒剂，对常见细菌、大肠杆菌、病毒等特别有效，其灭菌能力是氯系消毒剂的几十到几百倍。在足够的CT（臭氧浓度×反应时间）条件下，可以控制对氯“两虫"的抗性。

随着水资源的日益短缺，工业和城市生活污水往往经过处理后再利用，因此有必要提高污水处理标准。通过臭氧深度处理，可以去除水中的各种杂质，达到回收标准。用臭氧处理医院污水、工业污水等，还可以有效地切断病菌传染源或污染物质，缓解后顾之忧。而且臭氧可以在几分钟内杀死全部病毒，比等效氯快200~3000倍。城市污水处理系统工程也开始使用大型臭氧发生器对生活污水进行灭菌除臭。当应用于循环冷却水和锅炉给水时，水需要进行深度处理。臭氧可以去除形成污垢的杂质，防止管道堵塞。

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