臭氧有很强的氧化能力，可以氧化多种化合物。在水处理中得到了广泛的应用。臭氧化技术不仅具有良好的快速灭菌消毒性能，而且具有很高的氧化有机物和无机物的氧化能力，可以去除其它水处理技术中难以去除的物质。臭氧反应快，可减少结构体积。臭氧过多可迅速转化为氧，增加水中溶解氧，效率高，无污泥，无二次污染，绿色环保。在提高净化效果、灭菌消毒的同时，还能去除臭味和异味。一体式水厂设备臭氧发生器制备臭氧的电气和空气不需要储存和运输，占地面积小，操作管理简单，特别适合改善原水厂的水质和水量。

由于一体式水厂设备臭氧发生器产生的臭氧具有氧化性强、灭菌消毒能力强、除臭除异味功能难以替代的特点，多数情况下，废水深度处理需要臭氧技术，以达到更好的处理效果。废水深度处理时，臭氧可用于去除化学需氧量和生化需氧量，破坏有害化学物质。臭氧及其产生的活性OH自由基破坏污水中发色基团的不饱和键，产生小分子酸醛，产生低分子有机物，大大降低水体的色度。废水中存在的金属离子可氧化成不溶于水的化合物沉淀，有利于絮凝，改善沉淀效果，有效控制有机微生物，使循环水中的化学需氧量和二氧化碳（可吸收有机卤化物）的数量控制在非常低的水平，达到水质比较好的目的。