氧气源臭氧发生器消毒机具有消毒能力强、无残留污染的优点。在发达国家，广泛应用于医药、电子、化工、光学和生物产品、基因工程、食品饮料生产、食品储存加工、海鲜加工、海洋运输等领域。医药、生物制品、基因工程等行业可利用臭氧消毒无菌生产环境，净化空气的生产设备、模具、工具、容器、反应罐、输液、材料输送、输气管道也可消毒原辅料、包装材料、工作服等。

氧气源臭氧发生器消毒机是臭氧技术的一大进步。与使用空气源相比，氧气源大大改变了臭氧发生器的臭氧功能，具体表现如下：

1、氧气源可使臭氧出口浓度提高8~10倍?？掌闯粞醴⑸艿某隹谂ǘ任?/font>9~11毫克/升，低于1毫克/升。有氧时，出口浓度可达80~130毫克/升。

2、氧气源可大大提高臭氧的灭菌或氧化能力。高浓度氧产生高浓度臭氧。大大提高臭氧的灭菌和氧化能力。有些细菌和病毒很难用空气源臭氧杀死，但用氧源臭氧很容易杀死。有些化合物只能用氧源臭氧氧化。

3、氧气源可增加臭氧产生的3-5倍。与空气源臭氧发生器相比，氧源臭氧发生器的产量增加了3~5倍，臭氧发生器的使用效率大大提高。

4、氧气源不受氮化物污染。臭氧管道使用空气源时，由于空气中含有78%的氮，臭氧发生时产生氮化物。使用氧源，避免氮化物产生。

5、氧气源系统体积小。臭氧发生器采用空气源，气体预处理结构复杂，比氧源臭氧发生器至少大三倍，耗电量也相应增加，修理费用增加。利用制氧机供氧，臭氧浓度大大提高，综合成本大大降低。