烟气脱硫脱硝臭氧发生器消毒氧化装置是一种新型的同时脱硫脱硝去除技术，利用臭氧的强氧化性将烟气中的NOx和SOx氧化成价格较高的水溶性化合物，然后通过湿法洗涤吸收。通过臭氧氧化和尾气洗涤，NOx去除效率通常超过95%，SOx去除效率十分可观。由于目前臭氧制备和储存成本高，其应用范围有限；国外炼油厂采用臭氧去除技术的应用案例相当多。近年来，随着国家限制烟气排放标准的提高，我国出现了一些采用这种工艺的单位。

臭氧脱硫脱硝工艺和传统湿法脱硫工艺都有一套吸收塔系统。不同的是烟气在进入吸收塔系统之前需要经过臭氧氧化。在自然界的所有化合物中，臭氧是仅次于氟的强氧化剂，所以臭氧容易分解，不易保存，一般都是在制备的时候使用臭氧。目前制备臭氧的方法主要有三种：光化学法、电化学法和电晕放电法。

光化学是指通过紫外线照射将氧气转化为臭氧的过程，是地球大气中臭氧的形成机制和医用臭氧的制备。

电化学方法通过消化纯水产生臭氧。这种过程由来已久。目前其制备量已达到工业水平要求，臭氧产生量约为100g/h。

电晕放电法是目前工业臭氧生产中广泛使用的方法。这项技术每单位可生产500公斤/小时的氧气。该方法是通过在晕圈释放区留下干燥的含氧气体来制备臭氧的方法。

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