臭氧是一种强氧化剂，消耗低，反应速度快，无二次污染物致癌性，因此广泛应用于饮用水、工业废水、循环冷却水等工业废水的处理，以及食品、医药、造纸、化工、环保等行业。产生臭氧的方法有很多，包括静电放电法、化学法、紫外辐射法和电解法。然而，目前大多数工业系统使用无声放电方法来研究臭氧发生器。用工业水处理臭氧发生器的方法主要包括：放电单元（由电极和介质组成）、电源、入口准备和冷却系统等。热化理论产生的臭氧能量利用率的理论值是1200g/（kWh），但实际上远远达不到这个值，因为只有4%~12%的能量被用来形成臭氧，而剩余的能量全部转化为热量。

入口配料系统包括压缩机、冷却器、干燥器、过滤器、参数监视器等。它的功能是去除入口气体中的杂质，提供合适的气流速度和温度，控制入口气体的温度，等等。在这些因素中，重要的是去除进气中的水分，降低进气中的湿度，即降低进气中的露点，因为水分对臭氧的产生非常不利，也就是说，臭氧的输出随着露点的增加而减少。因为润湿不仅改变气体的性质，还会改变涂在电极上的介质的表面性质，如导电性，会减弱放电，减少臭氧的产生。工业臭氧发生器中使用的冷却介质包括空气或氧气、水或油。在工业水处理臭氧发生器中，系统冷却也很重要，因为产生臭氧时会产生大量热量，温度对臭氧有显著影响。结果表明，随着温度的升高，臭氧的体积分数急剧下降，导致臭氧产量和生产率下降[15，28]。纯气源，10kHz电源，可达到400g/（kWh）-90℃的能量利用率。