臭氧发生器效率高脱硝的氧化能力非常强。从下表可以看出，臭氧的氧化还原电位仅次于氟，高于过氧化氢和高锰酸钾钾，氧气源被注入臭氧发生室。在高频高压电场中，氧气转化为臭氧，经温度和压力监测后注入混合反应器，与烟气中的氮氧化物混合，将不溶于水的一氧化氮氧化成易溶于水的高价氮氧化物，如NO2、N2O3和N2O5。

臭氧的化学反应机理：臭氧详细的化学反应机理比较复杂。在实践中，可以根据臭氧和一氧化氮在低温下的关键响应来停止调试。

1.运行稳定可靠，每次维护无需做防腐，维护成本低；

2.脱硫效率达95%以上，高含硫烟气可*排放。该值控制在100mg/Nm³以下，脱硝的去除率可自行设定。低温臭氧脱硝技术方案可以达到精度。真50mg/Nm³；

3.脱硫脱硝共用一个吸收塔，节省设备投资和占地面积；

4.脱硫脱硝工艺在除尘器后面进行，不影响锅炉运行，避免除尘器堵塞，不影响除尘器使用寿命，保证整个锅炉系统稳定运行；

5.脱硫采用臭氧发生器进行效率高脱硝，脱硝液经过强氧化后进行固液分离，同样使用固体物质和煤灰，蒸发结晶后的液体作为农用化肥的原料，蒸发水的回收利用，接近*和循环利用。

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