臭氧发生器低温氧化脱硝技术的原理主要是利用臭氧氧化过程中的氧化和吸收反应。氧化反应主要是利用臭氧的强氧化性，将不溶性低浓度氮氧化物氧化成可溶性高浓度氮氧化物，然后在洗涤塔中吸收达到去除的目的。在不同浓度和比例的NOx等污染物下，脱硝系统可以同时有效去除烟气中的NOx、二氧化硫和颗粒物，不影响其他污染物的控制技术，是传统脱硝技术的有效补充或替代技术。

“十一五”以来，在国家相关科技计划的支持下，我国在臭氧发生器放电结构和放电介质的设计、大功率变频谐振电源和臭氧发生器参数的研究、模块化结构和放电管的设计、冷却系统、检测系统和PLC控制系统的研究、臭氧发生系统的可靠性分析等方面取得了很大进展，大大提高了大型臭氧发生器的生产效率，降低了生产成本。降低生产成本，延长产品使用寿命，提高产品质量，降低生产成本，降低产品成本，大大提高产品质量，大大降低产品价格，大大提高产品经济效益。

臭氧发生器低温氧化脱硝技术工艺系统结构简单，在原有脱硫塔的基础上进行改造，同时实现脱硫脱硝；脱硝效率高（高达90%以上）；根据烟气中氮氧化物的实时监测，可以准确地控制氧化剂（臭氧）的用量，使系统的运行效率不受锅炉运行状态的影响；系统运行温度低，可实现低温脱硝处理；系统的运行效率不会随着脱硝系统?；な奔涞脑黾佣档停蟠蠹跎倭送严跸低车耐；な奔洌怀粞醯难趸芰σ部梢允迪侄匝唐衅渌泻Τ煞?/span>（如汞）的氧化去除，满足未来日益严格的环境要求。