使用小型饮用水消毒臭氧发生器进行消毒灭菌时，无有害残留物（如致癌卤代有机化合物的氯消毒），对提高饮用水消毒质量非常有效。地表水含有各种有机、无机和各种细菌和病毒。臭氧对地表水的深度处理基本可以达到比较好饮用水的标准。研究表明，当水中臭氧浓度为0.4ppm时，细菌和病毒都可以被杀死，细菌和病毒的杀死速度比细菌快。臭氧处理后的饮用水水质比较好，可以防止管道中微生物的生长，?；と颂褰】怠Ｈ绻挥米贤庀呦久鹁?，只能穿过一定厚度的水层，消毒灭菌不比较*地，而臭氧消毒*可以解决问题。如果臭氧和紫外线联合消毒灭菌，比单独使用任何一种方法都有更好的效果和节能。

自来水直接用臭氧消毒要简单得多，所需臭氧浓度大大降低。但是臭氧非常容易分解，需要在它们的末端加入少量的余氯，防止供水管道中的细菌再次滋生。在其他国家，用臭氧处理游泳池水也很常见。臭氧消毒后，池内水质清澈透明，比较*地解决了氯消毒对眼睛和皮肤的刺激问题。在我国一些经济发达地区，用臭氧对游泳池的水进行消毒，效果良好。向不同区域供水时，必须使用臭氧进行消毒灭菌。只有这样，饮用水才能保持无菌和富氧。小型饮用水消毒臭氧发生器分解后可以产生氧气，不仅可以提高食用水生生物的生活质量，还可以对它们的生活场所进行消毒。但应避免臭氧浓度超过0.1mg/L，否则会对水生生物造成危害。