大型水处理臭氧发生器产生的臭氧与其他灭菌设备相比，灭菌效果好，可以净化空气，净化水。

由于游泳池水易污染，细菌多，需要用臭氧发生器处理，具有广谱灭菌、快速灭菌、无残留、无气泡、无毒无害的特点。大型水处理臭氧发生器产生的臭氧浓度高，运行稳定，是游泳池水净化处理的良好选择。

臭氧（O3）在1840年后逐渐被人们所认识。臭氧由三个氧原子组成。由于其氧化还原电位高，氧化能力强，可降解水中的各种杂质，杀灭各种致病菌、霉菌和病毒，杀灭观赏贝类幼虫（高达98%）等软体动物和独眼巨人、寡毛纲、水蚤类轮虫等水生生物，所以臭氧灭菌实验早在1886年就在法国进行了。1893年，一座3m3/h的净水厂在荷兰投入运行。1906年在法国尼斯建造的臭氧水处理厂一直运营到1970年。尼斯水厂被誉为“饮用水臭氧化的发源地”。1908年，西门子臭氧发生器安装在中国福州水厂。到目前为止，世界上有数以千计的臭氧处理水厂。1980年，加拿大蒙特利尔建成了日供水量230万吨、臭氧消耗300kg/h的大型水厂，大部分建在发达国家，发展中国家只有少数小规模应用。20世纪80年代以来，我国少数自来水厂采用臭氧法，如北京田村自来水厂（15kgO3/h）、昆明自来水厂（33kgO3/h），部分工矿企业自来水厂如大庆油田、胜利油田、燕山石化等单位也有臭氧设备在运行。