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影響臭氧發(fā)生器技術(shù)水平及質(zhì)量的幾個主要因素：

1、氣源

氣體的性質(zhì)（高濃度氧或空氣）及干燥度對臭氧發(fā)生器的效率及性能有著重要的影響。氣源中含有的水氣及微粒應(yīng)被去除到非常少，存在于氣源中的雜質(zhì)會沉積在電極表面影響放電。源氣中的水氣會導致兩個嚴重的問題：①將會造成臭氧產(chǎn)量急劇下降；②空氣中的一小部分氮將被氧化溶解在水氣中形成硝酸對設(shè)備造成腐蝕。源氣的露點應(yīng)保持在-60C以下以防止這類事情的發(fā)生。

2、放電電源

臭氧由于是在高能電磁場下形成的，因而需要有外界提供相應(yīng)的能量，這就是臭氧放電電源，電源頻率的提高可減少設(shè)備體積，降低放電電壓，提高系統(tǒng)的安全性和可靠性，但中高頻電源的應(yīng)用需要電力半導體技術(shù)做支撐。臭氧在應(yīng)用之初，使用的是工頻電源，設(shè)備體積龐大。隨著電力半導體技術(shù)的飛速發(fā)展，中高頻臭氧發(fā)生器電源的可靠性得到大幅度的提高，目前國際上*臭氧發(fā)生器廠家在大功率臭氧發(fā)生器上普遍采用了中高頻電源（大于400Hz）。在小型臭氧發(fā)生器也有采用工頻電源的。