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布魯克(北京)科技有限公...

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半導(dǎo)體晶圓自動測試系統(tǒng)已安裝就位,歡迎免費測試!

閱讀:291      發(fā)布時間:2024-6-6
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圖片

 

圖:INVENIO FTIR-MAPPIR II

 

布魯克(北京)科技有限公司上??蛻趔w驗中心,新近安裝了傅立葉變換紅外半導(dǎo)體晶圓自動測試系統(tǒng)。

 

客戶體驗中心這套系統(tǒng)附件多樣、擴展口豐富、功能齊備,可以實現(xiàn):

  • 直徑4寸6寸8寸的晶圓鏡面反射和透射自動多點測量

  • 根據(jù)ASTM/SEMI MF1391標(biāo)準(zhǔn),進(jìn)行室溫下硅晶圓中代位碳原子含量分析

  • 根據(jù)ASTM/SEMI MF1188標(biāo)準(zhǔn),進(jìn)行室溫下硅晶圓中間隙氧含量分析

  • 同質(zhì)、異質(zhì)外延層厚度分析,專業(yè)的擬合分析軟件,可用于亞微米量級至毫米量級單層、多層外延層厚度分析

  • 磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)中硼和磷含量定量分析

  • SiN等離子層和Si-O基鈍化層等膜層分析

 

圖片

 

圖片

 

   SiC同質(zhì)外延厚度  

 

image.png

圖片

 

單晶Si中代位碳,間隙氧含量

 

圖片

 

Si-SiO2-Si外延厚度

 

 

誠摯歡迎各位老師的蒞臨、參觀、試用、體驗與指導(dǎo)!


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