粒径小于10μm的颗粒物称为可吸入颗粒物，长期吸入有毒性的烟尘会引起中毒，例如含游离二氧化硅的烟尘易引起尘肺病，长期吸入锰尘能引起中毒性肺炎，长期吸入附着3，4-苯并芘的颗粒物可发生肺癌。特别是粒径在0.5～5μm之间的微粒容易进入肺部沉积，并可能进入血液而到达全身，导致心管病。烟尘、粉尘是影响环境空气质量的首要污染物，是我国实施总量控制的重点污染物之一，特别是对固定污染源排放的颗粒物，所以在烟气在线监测系统中，颗粒物在线监测是非常重要的一部分。

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