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产品简介
LPE机台测温仪EX-S-3FP系 BASF EXACTUS 系列高温计产品，在类LPE机台上（半月形反应腔式）被大量使用，是用于SIC外延炉基座测温系统的核心部件。
详细介绍
主要特点
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详细说明
LPE机台测温仪EX-S-3FP系 BASF EXACTUS 系列高温计产品，BASF Exactus®的原创红外技术在控制晶圆之间温度和薄膜厚度的均匀性方面具有许多优势：高度敏感的电子学和先进的光学技术意味着可以用更短波长的探测器来测量辐射能，这减少了晶圆透射及发射率造成的误差。此外，高速测量和高分辨率确保了控温和噪声抑制的优异性能， 由此提供了更好的晶圆温度监控和生产工艺。
BASF Exactus®系列测温设备已广泛用于快速退火、快速氧化、薄膜沉积等半导体工艺，并被集成在多家MOCVD设备以及其他RTP设备上如：AIXTRON, LPE，Premtek等。另外，由于其具有很高的测温精度和稳定性，也被一些高温黑体炉厂家作为温度标准器使用，如Thermogauge公司。
LPE机台测温仪EX-S-3FP整套配置包含EI110传感器，光纤，IFD5数字?？椋琁FA5模拟?？?，绿激光笔，配套线缆及相应的安装支架. 精度高达1.5℃, 重复性0.1℃。
典型应用
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技术参数
| 测量参数 | |
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| 温度范围: |
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| 工作波长: | 700 - 1650 nm |
| 测量精度: | 优于1.5℃ 或 0.15%测值 |
| 分辨率: | 最高0.01℃ |
| 重复精度: | 0.1℃ |
| 温度漂移: | 最大 0.10℃/年 环境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它温度 |
| 测量速率: | 最高1000 测值/秒, 响应时间1ms |
| 镜头 | 固定焦距，光路可定制。 |
| 物理参数 | |
|---|---|
| 供电: | 12-28 VDC, 3W |
| 存储温度: | -20 to 70℃ |
| 环境温度: | 电子器件: 0 - 60℃ |
| 外壳材质: | 传感器和镜头外壳，304 不锈钢/铝； 气吹外壳，铝； 恶劣环境专用镜头: 304 不锈钢； |
| 重量: | 标准高温计，0.510 kg (1.125 lbs.) 光纤传感器，0.198 kg (7 oz.) |