小型分子泵机组MPU-90i是由涡轮分子泵+前级泵+真空规组成的创新型产品，适用于制造业、分析仪器研发、真空镀膜、热处理、太阳能和半导体、超高真空密封石英管等领域，为用户提供超高真空一站式解决方案。1.超高真空：极限真空度可达到10-6Pa，真空度触摸屏数字显示；2.操作简易：提供中英文操作界面，触摸屏一键启动分子泵和前级泵；3.智能化控制程序：采用“IL智能化控制程序"，防止误操作损坏分子泵，控制软件，操作简易，安全可靠；4.一机两用：前级泵可独立使用，满足粗真空下的使用场景；也可以前级泵+分子泵联动使用，获得超高真空环境，一机两用，性价比高；5.安装简单：出厂前已完成分子泵、前级泵、触摸屏安装，且完成气密性检测；6.全量程真空规：真空测量范围1x10E5-1x10-6Pa,垂直安装确保测量准确。

      广州善准科技有限公司（Guangzhou SunJune Technology Co.,Ltd）位于中国广州，专注于真空等离子处理仪、石英管真空封管机及其配套的小型分子泵机组的研究、开发和制造。善准科技已成功注册了“SUNJUNE"和“SUNJUNE PLASMA"两个商标，善准真空等离子处理仪和真空封管机已广泛用于各行各业，国内的高校科研机构——中国科学院物理研究所、中国科学院化学研究所、中国工程物理研究院、清华大学、北京大学、复旦大学、同济大学、哈尔滨工业大学、国防科大、中山大学等均有配备，使用善准真空等离子处理仪和真空封管机参与做实验的多篇高质量论文发表在《Nature》等期刊；从研究到产业化应用，善准积极参与中国智造的迭代升级，锂电池、新能源汽车、晶圆制造、医疗器械、半导体行业的头部公司选择了善准的产品和服务。